无尘车间外面的走廊里,臭氧味混着异丙醇的甜,钻进鼻子里像一根细针。刘南生站在风淋室门口,看着墙上一排绿灯发呆。廊灯惨白,照得人眼底发涩。
陈工把一沓测试报告塞到他手里。报告边角卷了,指腹贴上去,能感觉到纸面上被手汗浸出的软。
“漏电流超标十二倍,集中在边缘die。”陈工嗓子哑了,像砂纸擦过玻璃,“光刻胶、炉管、清洗槽,全查过一遍,找不出鬼。”
刘南生没说话。他翻到第三页,那张晶圆失效分布图上,失效点不是均匀的圆环,而是一道斜的条带,像刀切进去的印子。
“这炉片子,是同一批拉出来的?”
陈工愣了一下。“苏州鑫源供货,批次号都在,出厂全检合格。”
刘南生把报告合上。“拆一盒新的,重测衬底电阻率。”
“那是人家出厂测的项目——”
“拆。”
赵凯靠在墙上,端着两杯速溶咖啡,听见这个字,把左手的杯子换到右手。他什么也没说,只低头看了一眼自己鞋尖上沾的灰。
晶圆是晚上七点拆的。封测车间的工程师老周把硅片一片片放进测试机,探针台嗡嗡转,显示屏上跳出一串数字。
陈工盯着屏幕,眉头拧起来:“电阻率在规格内……但氧含量,偏高。”
他转头看向刘南生:“氧沉淀能吸杂,反过来氧多了,内吸杂就不干活,金属离子全往器件区钻。漏电就是这么来的。”
话说到一半他就停了。他忽然意识到,自己排查了两天没抓到的东西,被人一句话指到点上。
“鑫源供货多久了?”刘南生问。
“三个月。”
“三个月前,封测的良率是多少?”
陈工翻旧报表的手停住了。三个月前的良率,比现在高两个点。
赵凯终于开口:“他们的批号,是从中间被换过的吗?”
没人能回答。陈工没说话。刘南生觉得那个答案已经在每个人心里长了根。
“先换衬底,把漏电压下来。”他把手里的烟盒纸折了一道,没掏烟,只是摩挲着纸角的毛边,“同一批归同一批,别混着用。明天早上,我要看到重新验证的数据。”
夜深了。走廊尽头的窗户外面是合肥十一月的夜,风呜呜地刮,吹得玻璃框响。苏小暖从楼下拎上来一袋盒饭,油已经把纸盒浸透。她摆在外面的不锈钢台子上,热汽腾起来,在冷光管下像一层白雾。
刘南生扒了半盒饭,筷子停了。他盯着那份失效分布图,指腹沿着那道斜条带反复划。
“陈工,这批坏片,测试前有没有做过退火?”
陈工嘴里塞着饭,含糊地嗯了一声。“做的是标准流程,850度,氮气。”
“时间呢?”
“标准。”
刘南生放下筷子,手指敲了敲桌面:“如果衬底的氧含量本来就偏高,标准退火时间反而会把缺陷钉在原地。试着把退火时间拉长一倍,跑一轮看。”
陈工想反对。他张了张嘴,把饭咽下去,半天说了句:“那得等四个小时。”
“等。”
凌晨两点,退火炉的曲线走完。老周把晶圆重新装进探针台。所有人站在测试机房外面,隔着玻璃看那台机器上的指示灯明灭。没人说话。赵凯把第一杯没喝完的凉咖啡灌了,空杯捏在手里,发出一声轻响。
显示屏上跳出一组数字。漏电率,降了两个数量级。
陈工的拳头砸在台面上。老周蹲下去,双手捂着脸。赵凯偏过头看了刘南生一眼——那种目光,很多年前也有过,像要把什么东西看透。
刘南生摸进裤兜,指尖碰到那张磨秃的旧烟盒纸。硬的,还在。
他转过身,面向陈工:“功耗降了多少?”
“待机功耗降了十一。”陈工的声音还带着颤,“离目标还差十五个点。”
刘南生站在那,看着窗外灰蒙蒙的天际。天快亮了,城市的轮廓在晨光里显出深蓝色的边。
高k。那三个字从很深的水底浮上来,他抓住了,说不清来处。
“把栅极绝缘层换成高k材料。”他说。
陈工转过身来,像被人掐住了脖子。“高k?那得动前段的整个工艺路线,光刻、沉积、刻蚀全要调,产线至少停两天——”
“我知道。”
“我们没跑过这个工艺,整套参数都要重来——”
“我知道。”
刘南生的声音不高。他站在灰蒙蒙的晨光里,指腹摩挲着那张烟盒纸的边角。“但漏电的问题,不光在这一炉片子身上。硅氧化层的厚度快到物理极限了,再压下去,漏电流只会涨回来。换高k,才是把这条路走通的办法。”
陈工盯着他看了很久,像在看一个疯子。
“你从哪儿知道的这个词?”他问。
“看过一篇外刊报道。”刘南生说这话的时候,眼底没起一点波澜,“具体我不懂。你懂。你告诉我,能不能干。”
陈工深吸一口气,又吐出来。
“能干。但线要停两天。”
“那就停。”
赵凯站在门口,手里的空纸杯被捏扁了。他看着刘南生的背影,想说什么,最终只把纸杯扔进垃圾桶里,皮鞋跟磕在地上,响亮地转了个弯,走出去打电话通知了客户。
两天后,验证片上机。刘南生是第三天凌晨从厂区值班室的折叠床上爬起来的。他睡得很沉,身上盖着苏小暖从柜子里翻出来的一条旧毯子,毯子边缘有樟脑丸的味道。窗口的光透着蓝,他摸到手机,屏幕上躺着陈工发来的一条短信。
一行数字。
待机功耗比之前再降15%。格栅材料方案走通。
他按灭屏幕,在黑暗中坐了一会儿。手心里那张旧烟盒纸,四个角的毛边都磨圆了。他把它重新塞回口袋。
从合肥回深圳的航班上,他靠着舷窗睡了一路。云层下面是一片灰白色的平原,河流像一道细细的银线。赵凯在旁边翻一本封测行业杂志,翻到某一页,停了一下,什么都没说。
他们在宝安机场降落。十一月的深圳还潮着热气,机场出口的风扑在脸上,带着一种和合肥完全不同的、黏乎乎的暖意。苏小暖拖着行李箱走在前面,忽然侧过头说:“林主任在咖啡厅等你。”
机场咖啡厅的玻璃幕墙外躺着一架正在滑行的飞机,尾翼上的灯光隔着一层玻璃,像模糊的星子。
林若诗已经坐了一会儿。面前摆了三份文件夹,封皮颜色不一样。她穿着深灰色的西装外套,袖口挽到小臂,露出的腕表表盘在灯下反着冷光。
“远瓴、丹杉、深投创。”她的指尖从三份文件夹上面依次点过,“都给了领投意向。远瓴出价最高,但要求一个董事会席位加一票否决。丹杉想讲故事,估值可以再谈,但要求对赌。深投创是国资,流程长、估值不是最高的,但有园区、有政策,而且他们明确说了,如果领投,要求总部落地深圳,三年内上市申报。”
刘南生坐进沙发里,把面前那杯凉透的水端起来喝了一口。他低头看着那三份文件夹,忽然从兜里掏出一支圆珠笔,在餐巾纸上画了三道线。
“不是三选一。”
林若诗抬了抬眉毛。
“远瓴出场景,它投了多少家智能硬件,终端渠道都是现成的。”他用笔在第一道线上划了一下,“丹杉出资金,账上钱多,不差我们这一家。深投创出的是根儿——深圳园区、政策、落户,这些是钱买不来的东西。”
他把三笔连成了一个三角形。
“深投创领投,远瓴跟,丹杉再拿一小份。三家都在桌上,互相看着,谁也不好单独拿捏我们。”
林若诗盯着那个三角形看了十几秒,指尖无意识地转着钢笔帽。
“国资领投,第一个条件就是三年内申报上市。你接受?”
“接受。”
“第二个,深投创会派一个董事到公司来。”
“让他来。”
“第三个,”林若诗把钢笔帽拧下来,又拧回去,“他们要求,AI芯片这条业务线,从总公司拆出来单独设主体。”
刘南生手里的圆珠笔停住了。他抬头看她。
咖啡厅的广播在报航班,声音被玻璃和距离滤成一片模糊的嗡响。林若诗的目光没有闪躲。
“拆。”他说,“芯片本来就是独立跑道。树根和树干都长在一起,挪不动地方的树,长不成森林。”
林若诗的嘴角动了一下,那种很轻的、几乎看不见的弧度。她翻开深投创那份文件夹:“那我约他们今晚出Term Sheet。”
晚上十点,深圳湾一家酒店的小会议室。窗外是海。海面上黑沉沉的,远处的灯光像落在水里的碎钉子。
深投创的刘总在最后一页签完字,把笔搁下来,抬头看了刘南生一眼:“刘总,我多问一句。这轮的钱,打算怎么花?”
刘南生站起来。他走到窗边,看着那片黑沉沉的海,转身的时候,手在口袋里碰了碰那张旧烟盒纸。
“这笔钱不是用来烧的。”他说,“是给AI突围备足三年的弹药。”
刘总的笔在指间转了一圈,合上了文件夹:“三年后呢?”
“三年后,我们就是弹药本身。”
赵凯在桌边笑了,笑声不大,但能听出里面的干劲儿。林若诗低头整理文件,把每一份协议按页码理齐,动作很轻。
签完字,散场。刘南生站在走廊里,肩膀松下来,才觉得后背的衣服粘着肉,汗冷透了。苏小暖走过来,把手机递给他。
屏幕上是一条新消息。松山湖,恒达研究院那边发来的,只有一句话:“你选的这条路,有人比你早半年动身了。”
他没来得及追问。苏小暖又说:“还有一条。周明远今天下午去了东莞一家封测厂——就是苏州鑫源供货的那家。”
刘南生握着手机,屏幕的光照着他的脸。走廊尽头的窗玻璃上映出一个模糊的人影,他忽然想起,三个多月前,苏州鑫源第一次把样品送过来的时候,附的信笺上,字迹清峻,落款写着:周。
电梯门开了,他低头看了一眼手里的烟盒纸,把它折好,塞进口袋,走进去。